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製品情報

SHENCHANG ELECTRIC社製 DCパルス・パワー・コントローラー

DCパルスパワーコントローラー SPIK 2000A

SPIKパルスコントローラーは、DC出力をパルス出力に変換する装置です。内部のスイッチング素子と大容量コンデンサにより、DC電源出力の最大10倍のパルスピーク電力に到達可能です。また、パルス出力ON+時間設定(5-32000uS)とパルス出力ON-時間設定(5-32000uS)及び、パルス出力OFF±時間設定(5-32000uS)をそれぞれ自由に設定できます。従って、単極パルスも双極パルスも可能であり、さらに、外部の任意波形発生器を用いれば、より自由なパルス波形出力も可能とします。なお、パルス周波数のカバー範囲は、30.5Hz〜50KHzとなっており、DC入力は2KWから40KWタイプの6モデルを用意しております。

特長

最高繰り返し周波数50KHz
高密度プラズマの実現
オンタイム、オフタイムを最適値に個別に設定
2μs以下のクイックアーク検出とサプレッション
種々の動作モード:DC+、DC-、UP+、UP-、BP
通常のDC電源をパルスパワーコントロールへとアップグレード
1台のDC電源を使い高電力対称バイポーラ/ユニポーラ パルス出力
2台のDC電源を使い高電力非対称バイポーラ パルス出力

 Model SPIK2000A-02 SPIK2000A-03  SPIK2000A-06 SPIK2000A-10 
 AC Input 単相220V 単相220V 単相220V 単相220V 
 DC InputPower(Average) 2KW 3KW 6KW  10KW 
 MAX.DC Output Voltage 1000V 1000V  1000V  1000V 
 MAX.DC Output Current  5A 7.5A 15A  25A 
 Pulse Output Power(Peek)  20KW 30KW  60KW  100KW 
 Pulse Output Voltage  1000V 1000V  1000V  1000V 
 Pulse Output Current(Peek)  20A 30A  60A  100A 
 Arc Suppression  2uS 2uS  2uS  2uS 
 Arc Level Adjustment  +/- 20A +/- 30A  +/- 60A  +/- 100A 
 Arc Delay Time  ≧30uS  ≧30uS  ≧30uS  ≧30uS
 Operation Frequency ≦50KHz   ≦50KHz   ≦50KHz   ≦50KHz 
 Cooling Capability  Air Air Air  Air+Water 
 Water Rate - - - ≧3.5L/min 
 Water Pressure - - - ≧1.5kg/cm^2 
 Water Temperature - - - ≦25℃ 
 Height  176mm 356mm 356mm 356mm 
 Width  483mm 440mm  440mm  440mm 
 Depth  575mm 685mm  685mm  685mm 
 Weight  20kg 46kg  50kg  52kg 
 Interface User(Interlock;PLC)
RS232
BNC(External Trigger)
Profibus(Optional)
User(Interlock;PLC)
RS232
BNC(External Trigger)
Profibus(Optional) 
User(Interlock;PLC)
RS232
BNC(External Trigger)
Profibus(Optional)
User(Interlock;PLC)
RS232
BNC(External Trigger)
Profibus(Optional)

アプリケーション

デュアルまたはシングル・マグネトロンスパッタリング
プラズマCVD
PVDバイアス
プラズマナイトライディング
プラズマディスミア
表面クリーニングとアクチベーション
エッチングバイアス


マテリアル

SiO2 TiO2 Al2O3 ITO Ta2O5 SnO2 TiN TiCN CrN WO3

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