アステック株式会社 半導体事業部 本文へジャンプ
製品情報

 SEREN 社製 高周波電源シリーズ
 ハーフラックサイズジェネレーター HRシリーズ
 HR シリーズ RF Generators (1.7 - 40.68 MHz)
  

モデル名

 周波数

定格出力

冷却方式 ラックサイズ

外形寸法(W xH x D)

HR601

13.56MHz 600W 空冷 1/2 Rack 8” x 5.25” x 19”

HR1001

13.56MHz 1000W 空冷 1/2 Rack 8” x 5.25” x 19”

HR2001

13.56MHz 2000W 水冷 1/2 Rack 8” x 7” x 22”

HR3001

13.56MHz 3000W 水冷 1/2 Rack 8” x 7” x 22”
HR5001  13.56MHz 5000W 水冷 1/2 Rack 8” x 7” x 22”
 
  Rシリーズ RF GENERATORS
   
 

モデル名

周波数

定格出力

冷却方式

外形寸法(W×H×D)

R301 13.56MHz 300W

空冷

203mm(8'')×134mm×470mm

R601 13.56MHz 600W

空冷

241(9.5'')×178×470

R1001 13.56MHz 1KW

空冷

241(9.5'')×178×470

R2001-2 1.7 - 2.1MHz 2KW

水冷

483(19'')×178×584

R2001-13 13.56MHz 2KW

水冷

483(19'')×178×584

R3001-2 1.7 - 2.1MHz 3KW

水冷

483(19'')×178×584

R3001-13 13.56MHz 3KW

水冷

483(19'')×178×584

R5001-13 13.56MHz 5KW

水冷

483(19'')×222×670

R10001-13 13.56MHz 10KW

水冷

483(19'')×254×743

 
  Lシリーズ 周波数可変 LF GENERATORS
   
 

モデル名

周波数

定格出力

冷却方式

外形寸法(W×H×D)

L301 100 - 460KHz 300W

強制空冷

203mm(8'')×134mm×470mm

L601 100 - 460KHz 600W

強制空冷

241(9.5'')×178×470

L1001 100 - 460KHz 1KW

強制空冷

241(9.5'')×178×470

L2001 100 - 460KHz 2KW

水冷

483(19'')×178×584

L3001 100 - 460KHz 3KW

水冷

483(19'')×178×584

 
  R1600 RF GENERATORS
 
モデル名 周波数 定格出力 冷却方式 外形寸法(W×H×D)
R1600-13 13.56MHz 1600W

強制空冷

483mm(19'')×222mm×480mm

R1600-27

27.12MHz 1600W

強制空冷

483(19'')×222×480

R1600-40 40.68MHz 1600W

強制空冷

483(19'')×222×480

 
  ICP GENERATORS
   
 

モデル名

周波数

定格出力

冷却方式

外形寸法(W×H×D)

I1600

40.68MHz 1600W

強制空冷

483mm(19'')×222mm×483mm
I2000 27.12MHz 2KW

強制空冷

483(19'')×222×483

I2000WC

27.12MHz 2KW

水冷

483(19'')×133×452
 

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