アステック株式会社 半導体事業部 本文へジャンプ
製品情報

自動フェイズシフタ モデル PSC-2, PSC-3, PSC-4, PSC-n



本自動フェイズシフタは、オートモードで複数電源を同期運転するシステムの基準となるプラズマ用電極と、それ以外の電極に発生するRF電圧の位相差を自動的に一定の値にします。電極の電圧の一部を取り出すRFプローブは、通常整合器に取り付け、その出力は本機にフィードバックされます。
本機は、前パネルのポテンショメーター又はリモート信号により位相差を0度〜±180度に設定出来ます。本機は、前パネルのデジタルメーターで位相差を表示し、アナログ信号で出力します。また、マニュアルモードでも使用でき、その場合は、RFプローブからのフィードバック信号は必要ありません。
PSC-2は、二電源システムに、PSC-nは、n電源システムに使用します


特長

● 完全自動運転
● デジタル位相差表示
● リモート信号完備
● 13.56MHz〜60MHz製造可能


位相角表示付きフェイズシフタ モデル PC-1A

特長・概要
PSC-1の特長の他に次の特長があります。
● IN-OUT間の位相差をデジタルパネルで表示
● 外部より位相角をコントロール
● 現在の位相角を外部へ出力


位相角表示器 モデル PD-1

特長・概要
本機は、二電源システムで、チャンバー電極に発生しているRF電圧の位相差をデジタル表示します。通常、整合器ないにRF電圧プローブを取り付け、出力電圧の一部を取り出し、本機に入力します。

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