アステック株式会社 半導体事業部 本文へジャンプ
製品情報

EN Technologies社製 DC/DCパルス電源


高い信頼性
* 非常に安定している垂下特性のトポロジ
* 32ビットDSPにより高速・高精度コントロール
* 最小化された出力リップルとシステム・エネルギー
* 小さなインターフェランスとノイズ
* モジュラー化と部品点数の最小化と最適化によりトラブルを最小限に
* 入力電圧サグ(一時的垂下)に対し高い耐性

優れたアーク・コントロール
* 最小化されたアーク・エネルギー(0.5mJ/KW)
* 急激な負荷変動に対し優れた制御性能
* 低リップルと低蓄積エネルギー
* 可変レシピ・パラメータ(アーク・レベル、シャットダウン・ディレイ・シャットダウン・タイム)

優れた性能
* 広範囲な動作(最高出力を4:1の出力インピーダンス・レンジで)
* 並列運転により160KWまで拡張
* 進んだ点火特性(点火電圧を自動制御)

ロー・ノイズ&イージー・メンテナンス
* ノイズとリーク電流はEMIフイルタと部品間のシールドにより低減
* 負荷のアークまたは短絡が及ぼす入力システムへの影響を最小化
* モジュラー・デザインにより品質管理とイージー・メンテナンスを実現
* 2次的な故障を防ぐ回路によりリペアーを最小限に
* シンプルな装置構造と最小限の配線数


スパッタ用DC電源EnerStream

モデル: EnerStream 5   :5KW, 800VDC(点火電圧1500VDC), 6.2A@800VDC〜12.5A@400VDC
モデル: EnerStream 10 :10KW, 800VDC(点火電圧1500VDC), 12.5A@800VDC〜25A@400VDC
モデル: EnerStream 15 :15KW, 800VDC(点火電圧1500VDC), 18.7A@800VDC〜37.5A@400VDC
モデル: EnerStream 20 :20KW, 800VDC(点火電圧1500VDC), 25A@800VDC〜50A@400VDC 

スパッタ用電源EnerStream 20


イオンビーム用電源

モデル: Forte I-302 :6KW, 0.3〜3KV, 2A

イオンビーム用電源Forte-I302


シングル・ターゲット・マグネトロンDCパルス電源

モデル : EnerPulse 10 :10KW, 1KV, 20A, 20KHz〜150KHz

シングル・ターゲット・マグネトロンDCパルス電源EnerPulse 10


バイアス用DC電源

モデル : Hercules 10 :10KW, 8.3A@1200V〜33.3A@300V
モデル : Hercules 20 :20KW, 16.7A@1200V〜80A@250V

バイアス用DC電源Hercules 20


常圧プラズマ放電用電源

モデル : Genius 2  :2KW, 2〜15KV, 10〜60KHz
モデル : Genius 6  :6KW, 2〜15KV, 10〜60KHz
モデル : Genius 10 :10KW, 2〜15KV, 10〜60KHz

常圧プラズマ放電用電源Genius 10


真空アーク & HCD用電源

アークカソード用電源
モデル : IDU-200N :10KW, 50Vまたは70V, 0~200A DC、パルス(1〜500Hz)

IDU-200N とプラズマの画像

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