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製品情報

Bシリーズ インピーダンス自動整合器


    
適用周波数/電力

周波数範囲 50KHz〜100MHz
電力範囲   100W〜20KW


概要

プラズマ用自動整合器は、高周波電源とプラズマ・インピーダンスを整合し、最大の電力をプラズマ負荷に投入するために使用されます。


特長

高速初期整合(約2秒以内) 高速連続整合(瞬時) 高精度整合(約1%以内) オート・プリセット フル・リモート・コントロール デジタル・位置メータ


応用

プラズマ・エッチング/RlE/プラズマCVD/バイアス用電源/RFスパッタリング/イオン・プレーティング その他プラズマ処理一般


広範囲なインピーダンス・カバー

プラスマ・インピーダンスは、チャンバ構造、ガス圧力、ガス流量、ガス種、RF電力等に依存し、これらの条件により広範囲な値をとります。このため本自動整合器は、十分変化量の大きい素子を使用し、更にキャパシタの追加・変更やコイルのタップ変更ができるようになっています。


多周波数化

プロセス側の要求に応え、100KHz〜3MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz、60MHzの整合器を用意しています。


容量結合と誘導結合

各々の結合方式に対応する整合器を用意しています。


各種フィルタ

チャンバで発生する高調波除去フィルタや、2周波方式用結合フィルタ等の製作や整合器への組み込みが可能です。


別置型コントローラー RC−12

RC-12には次の特長があります。


高速・高精度整合

新たにマイクロプロセッサーを搭載し、独自のアルゴリズムにて高速・高精度整合を実現します。また、負荷特性により自動整合が困難な場合にも各種パラメーターにより柔軟に対応できます。


プリセット

3チャンネルのプリセット機能にてチャンネルごとのオフセット・デッドバンド機能を設定できます。


フロント・パネル・コントロール

マイクロプロセッサー搭載によりLCDを装備し、メニューの階層化と省ボタン化による操作性を向上しました。また、操作・制御・設定のためのボタンを集約することで直感的な操作を実現しました。


幅広い電源入力電圧に対応

コントローラーは整合器動作用電源にもなっており、AC100V〜AC240Vまでの幅広い電圧に対応しています。
RC-12は19インチラックの1/2幅です。


オプション

次のオプションがご利用いただけます。
■DCバイアスプローブ/RF電圧プローブ
■高調波除去フィルタ
■2周波方式用結合フィルタ
■電極ヒータ用高周波ノイズ除去フィルタ
■熱電対用高周波ノイズ除去フィルタ


ご注意
当社の整合器は、減圧下低温プラズマ負荷用に設計されたものですが、負荷によっては使用できない場合があるかもしれません。
そのためご購入に際しては、当社担当者とご相談の上、使用される負荷で正常に動作することをご確認下さい。



モデル 周波数 最大定格入力 冷却 入力コネクタ 出力コネクタ 概略寸法 W×D×H mm
BH-5R 13.56MHz 500W 強制空冷 N-R M5オネジ 180×300×145
BH-10R 13.56MHz 1KW 強制空冷 N-R M5オネジ 255×374×175
BH-20UR 13,56MHz 2KW 強制空冷
&
水冷 1/4" 流量2L/min
HN-R 銅板 246×312×195
BH-50SR 13.56MHz 5KW 強制空冷
&
水冷 1/4" 流量2L/min
DIN-R 銅板 240×415×150
BH-100R 13,56MHz 10KW 強制空冷
&
水冷 3/8" 流量2L/min
DIN-R 銅板 300×470×220
BL-10R 300KHz - 1MHz 1KW 強制空冷 N-R HN-R 305×300×200
BV-20UR 27MHz
40MHz
60MHz
2KW 強制空冷
&
水冷 1/4" 流量2L/min
HN-R 銅板 246×312×195

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