アステック株式会社 半導体事業部 本文へジャンプ
製品情報

ADL社製 DC Power Supply

モデル:GS05/10/15/20/30


ADL社は1992年6月にドイツで設立されてから約20年間、Made in Germanyにこだわって、DC電源の製品開発と生産を継続しており、その製品の品質と耐久性は、ユーザーから高い評価を頂いております。ご提供する製品は、”Plug & Play”の哲学によって設計されており、容易な操作性を実現しています。それらを可能にする技術的特長は、 MARIS SYSTEM ( Multiple Arc Reducing Intelligent Sputtering System ) の採用であり、マイクロアークとハードアークの発生時に瞬時自動調整が行われます。

当社がご紹介するGSシリーズは、19インチハーフラックサイズのコンパクトで、耐久性に優れた、高品質なDC電源です。この製品にも、上記MARIS SYSTEMが採用されています。この機能は、ユーザーによるパラメーター設定が不要のため、スパッタ用DC電源のご使用経験がなくても、安心して使用することが出来、従って、プロセス開発時間も短縮します。
なお、出力仕様は、電圧仕様、プラス出力、マイナス出力、フロート出力を選択できます。また、各種インターフェースも選択可能です。 詳しくは、担当営業までお問い合わせください。

仕様

項目

Specifications
GS05 GS10 GS 15 GS 20 GS 30
出力電力(max) 500W 1KW 1.5KW 2KW 3KW
出力電圧(max) 800V    ( or 1000V ) 正極接地
オプション
負極接地
オプション
フロート
出力電流(max) 0.9A(0.7A)

1.7A(1.4A)

3A(2.4A) 3.5A(2.8A) 5.3A(4.2A)
コントロール 電圧 / 電流 / 電力
動作モード フロントパネル / アナログインターフェース or Profibus
出力精度 ±1%
アーク制御 Quenching time 6μs3ms 自動
Delay time 6μs10ms 自動
冷却方式 強制空冷
動作周囲温度 10℃〜40
外形寸法 高さ 132.5 mm
241.3 mm
奥行き 560 mm
重量 11Kg 12Kg
必要電源 単相200V(-10%+5%)
50/60Hz
三相200V(-10%+5%)
 50/60Hz
三相400V
(-10%+5%)
50/60Hz
消費電力 0.6KVA 1.2KVA 1.8KVA 2.4KVA 3.6KVA


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