アステック株式会社 半導体事業部 本文へジャンプ
製品情報

Advanced Photonics , Inc 社製

使い捨てタイプ・高性能 ハロゲンフィルタ


使用済みのハロゲンガスを捨てる場合に、APIのハロゲンフィルターを通して廃棄すると安全です。
高腐食性のハロゲンガスは、人体に有害であるだけでなく、周辺の機器類や排気設備などにも害を与えます。 
API のハロゲンフィルターは、取扱が容易で経済的です。

アルミ製容器内に、金属ウール、ソーダライム・モレキュラシーブと徴粒子フィルターを層状に充填してあります。
ソーダライムは、ハロゲンやハロゲン化合物と容易に反応して、これを取り除きます。
この反応での副生成物CO とHOです。フィルターの他の層では、揮発性徴粒子を除去します。

※ APIのフィルターは、使用済みのハロゲンガスを廃棄する場合に用いるものです。


仕様/モデル DHF-100 DHF-200
ハロゲン除去能力 0.1ppm 以下 0.1ppm 以下
最大使用圧力 7 ㎏/㎝2 7 ㎏/㎝2
最大使用流量 50ℓ /min 75ℓ /min
総ガス処理能力

ハロゲン0.2%の場合

8,500 (ℓ) 25,000 (ℓ)
全 長 41㎝ 60㎝
円 筒 部 30㎝×4.5㎝φ 40㎝×7.6㎝φ
重量  約700g  約1800g 
接 続 3/8"スウェージロック標準( 1/4"アダプタ取付可能 )

※使用済みのハロゲンフィルターを弊社で処分いたします。
廃棄処分した物に関しては、産業廃棄物管理票を( マニフェスト )の書類を提出いたします。

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