フェイズシフター


  • 自動フェイズシフタは、複数のRF電源を同期運転する際に、システムの基準と
    なる電極と、それ以外の電極に発生する位相差を、自動的に制御します。

    フェイズシフターのラインアップ
    周波数:13.56MHz~60MHz
    ユニット数:2台~10台

    PSCシリーズ
    ■PSC-2
    二電源システムで、電極に発生しているRF電圧をフィードバックし、位相差を制御
    オートモード/マニュアルモードの切替え、デジタル表示付

    ■PSC-n
    最大10台までのシステムで、各RF電圧をフィードバックし、Slave機の位相差を制御
    オートモード/マニュアルモードの切替え、デジタル表示付

    フィードバック無しモデル
    ■PC-1B
    高周波電源のCEX INとCEX OUTに接続し、Slave機の位相を変化させることが可能

    ■PSC-1a
    PC-1Bの位相差表示器レスモデル

    位相差表示器
    ■PD-1
    二電源システムで、電極に発生しているRF電圧の位相差をデジタル表示


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