インピーダンス整合器

  • 当社では、プラズマ励起に必要な高性能自動インピーダンス整合器の他、
    安価で堅牢な手動整合器を取り扱っています。

    自動インピーダンス整合器の製品ラインアップ
    周波数:50kHz~100MHz
    電力:100W~20kW

    ■Advanced Energy社: Navigator ll シリーズ / Navioシリーズ
    ■SEREN社: ATシリーズ / ATSシリーズ
    ■アステック:Bシリーズ


    手動インピーダンス整合器の製品ラインアップ
    周波数:50kHz~100MHz
    電力:100W~20kW

    ■アステック:MTシリーズ