DCパルス化ユニット

  • 当社では、プラズマ応用薄膜技術に適した各種DCパルス化ユニットを、
    幅広く取り扱っています。

    DCパルス化ユニットのラインアップ
    DC入力電力:3kW~60kW
    周波数:0.1Hz~50kHz
    パルス出力:ユニポーラ(単極)/バイポーラ(双極)/任意波形

    ■ADL社: SBシリーズ /SDシリーズ
    ■Advanced Energy社: Ascent DMSシリーズ
    ■MELEC社: SIPPシリーズ
    ■Shen Chang Electric:SPIKシリーズ