大気圧プラズマ表面処理装置


大気圧プラズマ表面処理装置 GENESISシリーズ

プラズマ発生部の直下に通過させるだけで、フィルムやガラス、基板の親水性を劇的に改善します。
表面クリーニング、印刷/塗工性、密着性の向上、前処理等に最適です。

【特長】
■微細パターンもダメージがなく処理可能
■最大幅1600mm!大型の材料にも対応
■オゾン、NOxの発生は極微量で除外設備が不要
■アーク放電の発生がほとんどなく、ダメージの心配なし
■プラズマ発生部はシンプルな構造で既設装置へ簡単に取付けできる

【仕様】
■処理幅:80mm~1600mm
■搬送方法:スキャンタイプまたはロール to ロール
 RF電源やMFC等すべてを一体化した仕様のほか、プラズマ発生部を既存設備に取付けることもできます。
■ユーティリティ:単相/三相200V、アルゴンガス、反応用ガス、冷却水