EN Technorogies社製品

  • 各種スパッタ用DC電源
    ■EnerStreamシリーズ
    製品ラインナップ
    定格出力:5kW/10kW/20kW/30kW/60kW/5kW+5kW/10kW+10kW



    各種スパッタ用DCパルス電源
    ■EnerPulseシリーズ
    製品ラインナップ
    ユニポーラ(単極)パルス
    定格出力:5kW/10kW/20kW/30kW/40kW

    ■EnerPulseDuoシリーズ
    製品ラインナップ
    バイポーラ(双極)パルス
    定格出力:5kW/10kW/20kW

    ■DMSシリーズ
    製品ラインナップ
    バイポーラ(双極)パルス
    定格出力:20kW/30kW



    アーク電源/バイアス電源
    ■ArcWorksシリーズ
    製品ラインナップ
    定格出力:6kW

    ■Herculesシリーズ
    製品ラインナップ
    定格出力:10kW/20kW/30kW



    大気圧プラズマ用電源
    ■Geniusシリーズ
    製品ラインナップ
    準パルス
    定格出力:1kW/2kW/10kW