EDF社製品

  • 水晶式蒸着モニター
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    小型スパッタリング装置用DC電源
    ■PPS10
    PPS10は、研究開発用途に適したデュアルソースDC電源です。
    マグネトロンスパッタの電極に、最大で2つのDC出力を供給することができます。

    【特長】
    ■電圧/電流/電力の3種類の制御モード
    ■デュアルマグネトロンに適した2つのDC出力
    ■高速なアーク検出とサプレッション
    ■豊富なインターフェイス
    ■広いインピーダンス範囲
    ■1インチ~3インチの小型マグネトロンスパッタに最適

    【仕様】