Advanced Energy社製品

  • RF電源
    ■CESERシリーズ
    製品ラインアップ
    周波数:2MHz/4MHz/13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz
    出力:300W~5kW
  • 型式 周波数 出力 入力電圧 冷却方式 外形寸法
    026 2.00MHz 600W 単相187~253V 空冷 483 x 500 x 88 [mm]
    0210 2.00MHz 1000W 単相187~253V 空冷 483 x 500 x 88 [mm]
    0220 2.00MHz 2000W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    0225 2.00MHz 2500W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    0230 2.00MHz 3000W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    0250 2.00MHz 5000W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    046 4.00MHz 600W 単相187~253V 空冷 483 x 500 x 88 [mm]
    0410 4.00MHz 1000W 単相187~253V 空冷 483 x 500 x 88 [mm]
    0420 4.00MHz 2000W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    0425 4.00MHz 2500W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    0430 4.00MHz 3000W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    0450 4.00MHz 5000W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    133 13.56MHz 300W 単相187~253V 空冷 483 x 500 x 88 [mm]
    136 13.56MHz 600W 単相187~253V 空冷 483 x 500 x 88 [mm]
    1310 13.56MHz 1000W 単相187~253V 空冷 483 x 500 x 88 [mm]
    1312 13.56MHz 1200W 単相187~253V 空冷 483 x 500 x 88 [mm]
    1320 13.56MHz 2000W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    1325 13.56MHz 2500W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    1330 13.56MHz 3000W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    1350 13.56MHz 5000W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    273 27.12MHz 300W 単相187~253V 空冷 483 x 500 x 88 [mm]
    276 27.12MHz 600W 単相187~253V 空冷 483 x 500 x 88 [mm]
    2710 27.12MHz 1000W 単相187~253V 空冷 483 x 500 x 88 [mm]
    2720 27.12MHz 2000W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    2740 27.12MHz 4000W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    403 40.68MHz 300W 単相187~253V 空冷 483 x 500 x 88 [mm]
    405 40.68MHz 500W 単相187~253V 空冷 483 x 500 x 88 [mm]
    4010 40.68MHz 1000W 単相187~253V 空冷 483 x 500 x 88 [mm]
    4020 40.68MHz 2000W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]
    4040 40.68MHz 4000W 三相187~253V 水冷 483 x 552 x 132 [mm]


  • ■Paramountシリーズ
    製品ラインアップ
    周波数:400kHz~60MHz
    出力:1.5kW~8kW


  • 各種スパッタ用DC電源
    ■Pinnacleシリーズ
    製品ラインアップ
    出力:6kW/10kW/12kW/20kW/6kW+6kW/10kW+10kW


    ■Ascentシリーズ
    製品ラインアップ
    出力:30kW/40kW/60kW


  • 各種スパッタ用DCパルス電源
    ■Pinnacle Plusシリーズ
    製品ラインアップ
    パルス周波数:5~350kHz
    出力:5kW/10kW/5kW+5kW


  • ■Ascent DMS
    製品ラインアップ
    Ascent AMS 30kW/40kW/60kW用パルス化ユニット
    パルス周波数:500Hz~50kHz


  • LF電源
    ■PE IIシリーズ
    製品ラインアップ
    周波数:40kHz
    出力:5kW/10kW


  • アーク電源/バイアス電源
    ■Solvixシリーズ
    製品ラインアップ
    アーク電源:3kW/6kW/10kW/15kW/20kW/30kW/40kW/10kW+10kW/15kW+15kW
    バイアス電源:3kW/5kW/6kW/10kW/15kW/20kW/30kW