ADL社製品

  • 各種スパッタ用DC電源 ■GSシリーズ(空冷, 1/2 19”サイズ)
     型式:GS05/GS10(単相200V入力)
        GS15/GS20(三相200V入力)
          GS30(三相400V入力)
     出力電力:500W/1kW/1.5kW/2kW/3kW
     出力電圧:800V/1000V ※いずれか選択

    ■GSシリーズ(空冷, 19”サイズ, 三相400V入力)
     型式:GS60/GS80/GS100/GS120/GS150
     出力電力:6kW/8kW/10kW/12kW/15kW
     出力電圧:800V

  • ■GSWシリーズ(水冷, 19”サイズ, 三相400V入力)
     型式:GSW100/GSW150/GSW200/GSW250/GSW300
     出力電力:10kW/15kW/20kW/25kW/30kW
     出力電圧:400V~1000V ※機種により異なる

  • ■GXシリーズ(水冷, 1/2 19”サイズ, 三相400V入力)
     型式:GX50/GX60/GX80/GX100/GX120/GX150
     出力電力:5kW/6kW/8kW/10kW/12kW/15kW
     出力電圧:200V~1000V ※機種により異なる

  • ■HXシリーズ(水冷, 1/2 19”サイズ, 三相400V入力)
     型式:HX150/HX200/HX250/HX300/HX350
     出力電力:15kW/20kW/25kW/30kW/35kW
     出力電圧:400V~1000V ※機種により異なる

    ■HXシリーズ(水冷, 幅600mmキャビネット, 三相400V入力)
     型式:HX900/HX1050/HX1200/HX1400
     出力電力:90kW/105kW/120kW/140kW
     出力電圧:800V

  • 各種スパッタ用バイポーラ(双極)パルス電源 ■GXBシリーズ(水冷, 1/2 19”サイズ, 三相400V入力)
     型式:GXB50
     出力電力:5kW
     出力電圧:+/-800V
     周波数:22.5kHz固定
  • ■SBシリーズ(水冷, 1/2 19”サイズ)
     型式:SB150/SB300
     出力電力:15kW/30kW
     出力電圧:+/-800V
     周波数:20kHz固定
     ※GXまたはHXシリーズDC電源と組合せて使用

  • ■HXBシリーズ(水冷, 幅600mmキャビネット, 三相400V入力)
     型式:HXB900/HXB1050/HXB1200/HXB1400
     出力電力:90kW/105kW/120kW/140kW
     出力電圧:+/-800V
     周波数:20kHz固定

  • 各種スパッタ用ユニポーラ(単極)パルス電源
    ■SDシリーズ(空冷, 1/2 19”サイズ)
     型式:SD30/SD150/SD300
     出力電力:3kW/15kW/30kW
     出力電圧:800V
     周波数:20kHz固定
     ※GS、GXまたはHXシリーズDC電源と組合せて使用

    ■SDシリーズ(空冷, 1/2 19”サイズ)
     型式:SD151/SD301/SD351
     出力電力:15kW/30kW/35kW
     出力電圧:800V
     周波数:20kHz固定
     ※オプションにより、1kHz~40kHzに可変可能
     ※GXまたはHXシリーズDC電源と組合せて使用

  • ■HXDシリーズ(水冷, 幅600mmキャビネット, 三相400V入力)
     型式:HXD901/HXD1051/HXD1201/HXD1401
     出力電力:90kW/105kW/120kW/140kW
     出力電圧:800V
     周波数:20kHz固定
     ※オプションにより、1kHz~40kHzに可変可能

  • イオンソース用DC電源
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