水晶式蒸着モニター


マルチチャンネル蒸着モニター QPM60


QPM60は、蒸着レートおよび膜厚を高精度に測定するマルチチャンネル蒸着モニターです。
タッチスクリーンディスプレイは、直観的な操作を可能にし、膜厚や蒸着レートのグラフを表示します。
標準で2つのセンサー入力があり、最大4つのセンサー入力をオプションで追加出来ます。
個々のセンサー入力は、異なる材料に割り当てられる他、1つの材料に対し複数のセンサーを用いて
平均化します。
4つのリレー出力は、ソースまたはセンサーのシャッター、トリガ時間と膜厚設定点、水晶の寿命を
制御することが可能です。

【特長】
 ■ 2つの高分解能測定チャンネル ※オプションで最大6チャンネル
 ■ 最大10 Hzのサンプリングレートで0.01 Hzの高分解能測定が可能
 ■ 4.3インチタッチスクリーングラフィックディスプレイ
 ■ プログラム可能な6つのアナログ出力(蒸着レート/膜厚/周波数)
 ■ 4つのTTLデジタル入力
 ■ 4点のリレー出力
 ■ アナログI/Oの他、RS232Cとイーサネットの2つのインターフェイス
 ■ フロントパネルUSBポート
 ■ ハイコストパフォーマンス





水晶発振式蒸着モニター QM20


QM20は、小型ながら据置タイプと同等の高い精度と分解能を持つ水晶発振式蒸着モニターです。
お手持ちのPCに付属の専用ソフトをインストールし、PCとセンサーをQM20に接続するだけで、
積算膜厚と蒸着レートの高精度な測定結果を、分かりやすく表示します。
QM20は、コストパフォーマンスに優れたソリューションを提供します。

【特長】
 ■0.01Hzの周波数分解能
 ■0.5ppmの周波数安定性
 ■毎秒10回の測定間隔
 ■適応水晶振動子 6MHz
 ■選べる4種類のインターフェース(USB、RS232C、RS485、LAN)
 ■2系統の測定チャンネル
 ■多機能で分かりやすい付属ソフトウェア
 ■最新のWindows10に対応
 ■外部発信器オプション有り
 ■ハイコストパフォーマンス