アステック株式会社 半導体事業部 本文へジャンプ
半導体/液晶/ディスク/工業用コーティング等の製造プロセスに使用される、プラズマ発生用DC/低周波/高周波電源を扱っています。自動整合器 自動位相シフタは自社開発製品です。 イメージ

News

大気圧プラズマ表面処理装置サンプルテスト加工のご案内


大気圧プラズマ表面処理装置「GENESIS」のデモ機を社内に常設し、お客様のサンプルに対するプラズマ表面処理の評価が可能となりました。


お客様のお問合せをお待ちしております。


高周波電源

発振周波数:50KHz〜60MHz 出力:300W〜15KWまで多様なラインナップでお答えします。
SEREN
LG series
 DC電源

マグネトロンスパッタ用DC電源・バイアス用DC電源・常圧電源を取り揃えています。
ADL
EN Technologies




 
DCパルスパワーコントローラー 

パルス機能のない普通のDC電源を接続することにより、最新のパルスコントロール技術を駆使した電源へとグレードアップします
SHENCHANG ELECTRIC
 
 整合器

インピーダンス整合に必需品の整合器は、弊社の持つ経験とノウハウにより、様々な周波数、電力、負荷形式、アプリケーション特性に対応します。
B Series Matching Box
 
 フェイズシフター

本自動フェイズシフタは、オートモードで複数電源を同期運転するシステムの基準となるプラズマ用電極と、それ以外の電極に発生するRF電圧の位相差を自動的に一定の値にします。
Phase Shifter
 
  ヒーター用フィルター

ヒーター用フィルターは電極につながるDC電源を高周波成分から防ぎます。
ヒーター用フィルター
 
光ファイバー温度計

接触式光ファイバー温度計は、高電磁界下において電磁界の影響を受けることなく正確な温度計測を行えます。
Neoptix 光ファイバー温度計
 
 
ハロゲンフィルター

使用済みのハロゲンガスを捨てる場合に、APIのハロゲンフィルターを通して廃棄すると安全です。
高腐食性の( フッ素、塩素、臭素、などのハロゲンガスとHC1のような酸性ガス )は、人体に有害であるだけでなく、周辺の機器類や排気設備などにも害を与えます。
API のハロゲンフィルターは、取扱が容易で経済的です。
ハロゲンフィルター
 
  技術情報

高周波電源をお使いになるにあたっての様々な技術情報やよくある疑問・質問にお答えします。
技術情報

 


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